“这些CMP技术也要交给我们俩弄吗？”

今天得到信息量太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感觉。

多重图案技术，一听就明白，也就敢照亮照亮。但是CMP技术，涉及的就是就是真刀真枪了。

机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工精度，这里面就没有一个是简单的。

他们两个与成永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时间太短，基础知识不牢靠。

“这几个技术，我会交给其他人进行研发。”

这个CMP技术，也很重要，但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比，谁先采用了。早采用，早受益。它完全可以光明正大的搞起来。

这也是为什么这个技术，被叫做真1微米的原因。

CMP技术摆在前台做幌子，多重图案技术藏在后面。

“是要交給赵主任他们吗？”

“我会另外安排。你们就不用管了。”

这确实是个令人头疼的问题。

工大在集成电路工艺上面，这两年也做出了些成果，但毕竟底蕴不足。

另外，术业有专攻。只靠一个专业的十几个人，去包打天下，根本就不现实。

赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面，狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。

这些技术，很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备，一两个设备厂家能搞定的。

引入第三方力量，就是必须。

不过这个事情不急。幌子的作用，主要还是幌子。

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“我们现在干什么？”

“第一步还是先来验证概念，另外要试验一下，看LELE和 SAMP 这两条路，哪一条更容易实现，难度最低。”

多重图案技术法，有两条实现路线。一条是LELE，另一条是SAMP.

LELE 是将设计版图分解成两套独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精细的图案。

SAMP 是通过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积（Deposition）在核心图案两侧形成侧墙（Side Wall），最后通过刻蚀（Etch）和修剪曝光来实现所要的图形。

“这两条路，是你提出来的，你自己不知道？”

严亮觉得这个事情有点奇怪。

“我又没有自己动手做过，我哪里知道？”

“这真是你自己的想法？”

“你问这么多干什么？好奇心太大，会害死猫，你不知道吗？”

“我们又不是猫！不说算了，谁稀罕！”

一个人又不是生活在真空里，只要时间长了，总是要漏出些马脚的。以前，成永兴每次还会去找借口解释，慢慢的，他连借口都懒得找了。

这也是他只相信身边这几个人的缘故。至少这些同学，同乡，他信得过。

可惜了，当初的黄埔军团，只剩下这两个人。由于缺乏可信助手的缘故，他的很多想法，都无法执行了。

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“这样搞的话，908工程根本就没有必要了啊！如果是这样，能不能跟国家说说，把908工程的经费要过来一部分？”

“国家的拨款，你们就不用考虑了。908计划，国家到最后也没有给拨款，他们跟我们实际没有什么区别，都是银行贷款。”

“到最后？这你是怎么知道的？算了，我不问了。”

光电在全力冲刺LCD的产能，二号线，已经到了花钱如流水的阶段。

这又是一笔以亿为单位的投资，只靠光电自身资金，是支撑不起的。真正支撑光电进行大规模投资，实际是银行借款。

这两年，光电算是把冰城各大银行都借遍了。

冰城很多企业，跑到市政府去告状，说他们的正常经营活动受到了影响。这些企业，都是正牌的国营企业，他们的声音也是很响亮的。

这种声音，其实去年就有。

光电集团的出现，确实对冰城的社会资金产生了挤占效应。光电拿到的银行贷款多了，自然，其他企业得到的银行贷款也就相应减少。

尤其在1991年三角债最严重的时期，光电的出现，使得很多企业的经营状况，雪上加霜。

但光电的出现，也不完全是负面效应。首先是LED产业链的兴起，激活了整个电子企业。这些本来是负担最重的一批企业，不需要政府救济了。

其次，光电的销售市场，基本上都是面向国际市场，所以它带来的资金完全属于额外的资金。这部分的外汇收入，到了国内，则需要被兑换为人民币，这种人民币，就属于额外增发出来的。也就是说，冰城的银行系统里，就会多出等量的资金。

正负相抵，大体持平。但具体到某些企业上，就很难说了。

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“没有国家的投资，那建晶圆厂的投资从哪里来？你准备晶圆厂和TFT-LCD，两条路同时进行吗？”

光电已经欠了一屁股债。欠银行的，欠设备供应商的，欠施工单位的。要不是看在大屏LED这棵摇钱树的面子上，早该围上来追款了。

“第一，这个晶圆厂，不会这么快启动。这个工程的启动，至少要等LCD项目上正轨，也就是《全彩科技》挣钱以后才会进行。”

“那大概是什么时候？”

“我的预期，也许是年底，也许是明年。”

建立一个新的晶圆厂，需要准备的工作很多。它不仅仅是厂房，而且包括人力资源。

TFT-LCD的人力资源，实际是通过LED产业训练出来的。

“第二个，新工厂投资不会这么大。我们也没有必要一次就追求太高的产线指标。”

成永兴在研究历史上几个重大项目的时候，总是不能很好理解过去人的一些思路。

以908为例子，这个工程的目标是，月产1.2万片、6英寸、0.8-1.2微米的芯片生产线。

而此时中国的实际工艺水准，是4-5英寸，2-3微米。这样的话，908工程的目标里，实际上包含了两个大的进步，一个是，4英寸->6英寸。另一个是 2微米->1微米。

那么问题来了，为什么要把两个大的进步，放在一个项目里去实施呢？

一个个来不好吗？解决了一个，再去解决另一个。

过高的标准，导致项目的难度加大，最后耗时七年才完成。结果一建成，就过时。

成永兴已经习惯了小步快跑的前进方法，对这种每次上大台阶的做法，实在是不习惯。

LED时代，《巨大高科》是以季度为单位进行技术演进。

LCD时代，《全彩科技》以半年为周期，向前进化。

到了晶圆时代，前进的脚步，最多是以年为单位。钱砸下去，马上要看到水花。

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“我们两个要怎么分工？”

“这次的多重图案技术验证，以叶静为主。”

成永兴想了一会，觉得叶静这种沉稳的性格，会更加合适一些。

多重图案技术，思路上非常简单，但历史上，不少企业都在这个工艺上栽了跟头，说明它还是有些难度的。

不过成永兴也有他的优势。那就是他所知道的信息，都是各厂家千锤百炼的结果。

这就好像，在液晶技术里，他只熟悉TFT技术一样。是怎么回事，里面有什么技术诀窍，他根本不清楚，因为后世对这种被淘汰的技术，不怎么关注了。

不管怎么说，这个技术的难度只是使用方式方法的问题，绝对不存在做不到的问题。