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第460章 五步光刻法

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1992年3月

新华社全文播发“为改革开放保驾护航”

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全彩会议室

今天开会来的人特别全,因为公司到了一个新的节点。

在会议桌中央,摆放着几块10.4寸的TFT-LCD样品。这几块样品,是用产线设备跑出来的。LCD生产线,终于彻底跑通了一次。

当然了,这个跑通,不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题,良率问题。但剩下的事情相对就好办了,大家慢慢磨时间吧。

“样品给骆师姐送去了吗?”

“送去了,她们的电路板已经准备得差不多了,估计过两天,成品就会送回来。”

会议室的众人,都对第一块可以显示图案的LCD成品,期盼着。

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会议的重点,永远都是良率问题。

ODF工序,被引入以后,按理说TFT-LCD的良率,不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。

光电虽然没有晶圆的生产经验,但LED的生产经验不算少了。但实际情况,并非如此,LCD的尺寸,实在是太大了。

“小成,你那边的五次光刻技术,是否成熟了?”

王青山是产线调试的技术负责人,从现在开始,产率,良率的问题,主要就是他的事情了。

“怎么了?”

“产品的良率不足,也跟现在TFT的加工工序次数过多有关系。”

TFT的加工工艺,与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻,成膜,清洗,涂光阻胶,曝光,显影,烘干,蚀刻,去光阻胶,检查,都要走一遍。

目前的TFT加工工艺,采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻,才能完成加工。

而在晶圆芯片的加工过程中,几十次的光刻,是最少的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多,总成品率就越低。

“小成,如果你有好的技术,就赶紧拿出来吧。”

白学成也在一边加入了战团,进行劝说。

“好吧。”

成永兴犹豫了一下,但还是妥协了。这个技术,他是准备保留到下一代的。在历史上,五步光刻法,要过几年才会出现。

会议很快就转向了其它议题。

例如国产原料的送检等。但这些不影响主要进度。

有,不错,没有,也不怎么值得大家关心。

从全彩员工的角度看,这些都是供应商,用谁的不是用?用国产原料,反而是给大家添麻烦。

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会后,白学成和成永兴,王青山三个人到小会议室闲坐。

随着产线的全线调通,大家的心情,也就慢慢放松了下来。

刘民学最后还是接任了《光电设备》的总经理,但他不怎么来冰城,所以他的那个总经理,只是个挂名。

好在几家下属设备厂,完全可以独立工作,有没有这个上级单位,也没有太大关系。

冰城的光电设备本部,又重建了一套独立的管理班子,周强等一批人,从其他兄弟单位调动了过来。

“我们的显示基地计划,一直还没有批下来。”

“这个我知道。”

“你怎么一点都不急呢?”

白学成对成永兴的态度,感到有点奇怪。

“急有用吗?”

“呵呵,是啊!”

急是没有用。不过这个事情在成永兴身上,白学成还是觉察出一丝不寻常。

这个年轻人,在很多事情上,急躁得很。例如产线的全线调通。但有些事情,又镇静的令人奇怪。

“不过,有个朋友托人给我们带话,他希望我们可以把正式线,设到申城。如果可以,他会帮助我们推动项目的审批工作。”

随着时间的流逝,光电的第二间厂房,也进入了验收阶段。

几乎所有人都认为,这间厂房是为了正式线准备的。

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“用不着吧。现在这样不是挺好的吗?”

带着后世的观点,成永兴对这种项目审批,很不以为然。

你批给我,名正言顺,不批,你还能挡着我花钱吗?

大不了,我连贷款都不用。而且随着第一块液晶样品的出现,对于如何搞钱,成永兴有些别样的想法。后世的人,拿着个PPT都能骗钱呢!

“是这样的,这条正式线,用我们自己的资金,无论如何是建不起来的。”

白学成与大多数人一样,根本看不到用自有资金,建设全负荷产线的可能性。

作为全彩总经理,找钱就成了他的一个本能举动。

LED大屏,确实很挣钱,但是如果只是靠自我利润的滚存,要攒50个月才能攒够一条正式产线所需要的投资。

“我的朋友讲,如果这条线能够放到申城,配套资金,他们可以负责解决7成。他们那里还可以提供各种税收优惠,条件非常好。”

对于全彩来说,生产线设到哪里,区别不大。光电的不少职工,原籍就是江浙一带。

后世,晶东方,全国各地建产线,甚至建到了内蒙古,哪里有钱,就去哪里建!

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“正式线,目前还没有建的打算。过两天,我准备再上一条中试线。”

“还上中试线?这条试验线的目的是什么啊?”

“这次准备提高LCD的大小和分辨率。”

大小和分辨率,是个不错的借口,但确实也有需要。随着时间的流逝,第一次LCD景气循环再有几个月就会走到了大家的面前。

居安思危,随着上升波段的到来,下降波段,也会接踵而至。如何度过寒冬,就是必须要考虑的事情。

“这次的设备需求,跟这次一样吗?”

“不一样,这次要求厂家们准备上5微米精度!”

新技术的采用和推广,成永兴的策略始终是小步快跑,温水煮青蛙。

第一次上10微米,是因为大家都没有经验,他也不想给设备厂商增加无畏的负担。

但闯过了第一关之后,再继续放纵就不对了。

钱哪有这么好挣的?

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历史在这里改了个大弯,LCD产线的世代称呼,以全彩的命名规则为准了。

为了区分各代产线,已经建成的这代产线,被称为第一代。

这代产品是光电在LCD领域的第一次尝试。它的主要特征是,产品尺寸较小,最大只有12寸,分别率也比较低,只有640x480。

而马上就要开发的,自然就被称呼为第二代。

第二代的尺寸被放大到了15寸,最大分辨率则被提升到了1024x768。它的主要针对目标,是此时的工作站显示器市场。

“这样的话,难度大了不少,各设备厂家恐怕都会有很大的经济压力啊。”

第一代设备,算是试用,样品,各家都拿出了很大热情来参与。从某种角度上来说,为了抢占市场,就是赔本干,也要拿下来。

第一代产品还没有看到效益,就开始研发第二代,光是研发成本,各家就承受不了。

“没关系,第二代线也不是现在就启动,只是要跟各厂家提前打好招呼。至于一代线,我准备再建几条。让他们准备好挣钱就行了。”

“几条?中试线?为什么要建这么多条中试线?钱从哪来?”

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